韓国SKハイニックス、次世代リソ技術「EUV」の難題解決策を提示

韓国半導体大手のSKハイニックスがEUVリソグラフィーを導入した最新鋭工場が竣工 ・ DRAMへのEUV適用に向けたマスク、レジスト、ペリクル関連キーワードはありません