韓Park SystemsがAFMによるEUVマスク検査装置を開発 - 韓国メディア報道 - マイナビニュース

韓国のPark Systemsが、EUVリソグラフィ向けAFMベースのマスク検査装置を開発し、韓国内外のロジックファウンドリと正式な供給契約をまもなく結ぶ可能性が関連キーワードはありません