ＥＵＶ向け感光材、東進セミケムが国産化 - NNA ASIA・韓国・ＩＴ・通信

韓国の半導体材料メーカーの東進セミケムが、サムスン電子と協力して極端紫外線（ＥＵＶ）向け感光材（フォトレジスト）の開発に成功したもようだ。関連キーワードはありません